|
|
|
|
|
|
|
 |
 > Q&A > Q&A |
|
|
| |
|
작성일 : 18-04-21 17:02
|
DFR developer, stripper 문의
|
|
|
글쓴이 :
guerriller…
 조회 : 1,290
|
AMST 공정팀 이찬종 대리입니다.
DFR을 이용하여 패턴 형성할 때,
develop은 탄산나트륨, strip은 수산화나트륨을 제조하여 이용하고 있습니다.
develop과 strip 모두 패턴형성된 DFR 모서리부분을 따라 약간의 DFR 잔여물(약 1um 안팎)이 발생됩니다.
DFR 완전 제거를 위해 귀사의 DFR developer와 stripper로 테스트를 진행하고 싶습니다.
테스트 샘플과 진행 문의를 위해 아래의 메일로 연락 바랍니다.
Email : lcj@amst.co.kr
연락 주시면 바로 회신 드리겠습니다.
|
|
|
|
|
| |
|
