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작성일 : 16-10-31 22:21
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글쓴이 :
이수경
 조회 : 2,813
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안녕하세요.
광주과학기술원 이수경이라고 합니다.
ITO위에 Mo을 증착한 후 PR pattering하여 일부 Mo만 wet etching하고 싶은데요
PAM-100으로 가능한가요?
ITO에는 영향을 주지 않는다고 써있는 것은 확인하였으나, PR mask가 버텨야합니다.
가능하다면 가격은 얼마인가요?
추가로 Ag/Mo가 아닌 Mo도 에칭 가능한것이죠?
빠른 답변 부탁드립니다.
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