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작성일 : 13-04-19 09:13

제품관련하여 문의 드립니다.

글쓴이 : 류진선

안녕하세요. (주)KCMT 류진선 입니다.
아래 제품관련하여 공정에 적합한 금속재질을 여쭤봅니다.

에칭제 : PITE-100 (ITO Etchant)
사용가능한 금속재질 : ???
에치레이트 : ??? um / sec

에칭제 : TME-100 (Ag/moly Etchant)
사용가능한 금속재질 : ???
에치레이트 : ??? um / sec

회신을 부탁 드립니다.
이상, 마칩니다. 수고하세요.



김동우 13-04-24 14:09 안녕하십니까? 풍원화학의 김동우 차장입니다. PITE-100에 사용 가능한 금속재질 ?? --> 에칭 챔버를 말씀하시는 것 같군요~ 지르코늄을 추전드립니다. PITE-100 에칭레이트 --> 200~300Å/min TME-100 금속재질 :? --> 지르코늄 TME-100 에칭레이트 --> 2000~3000Å/min 안녕하십니까? 풍원화학의 김동우 차장입니다. PITE-100에 사용 가능한 금속재질 ?? --> 에칭 챔버를 말씀하시는 것 같군요~ 지르코늄을 추전드립니다. PITE-100 에칭레이트 --> 200~300Å/min TME-100 금속재질 :? --> 지르코늄 TME-100 에칭레이트 --> 2000~3000Å/min